| 产品型号 | KSS-2L-5D |
| 产品名称 | 刻蚀上料机 |
| 生产工艺 | 在线式、刻蚀工艺 |
| 设备功能 | 将花篮中的硅片取出输入至链式清洗机。 |
| 适用硅片 | |
| 单晶/多晶 | 单晶多晶兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工装 | |
| 花篮工装 | 4.76×100槽花篮、可定制 |
| 设备运行能力 | |
| 实际运行产能（净产能） | ≥5500片/小时 |
| 正常运行时间（up time） | ≥98% |
| 平均无故障时间（MTBF） | MTBF≥500小时 |
| 平均故障修复时间（MTTR） | MTTR≤1小时 |
| 碎片率 | ≤0.03% ，A片（不含本身隐裂、线痕等缺陷片） |
| 动力要求 | |
| 电源 | AC220V，50HZ |
| 功率 | 5KW |
| 压缩空气 | 0.6MPA，主气路管道直径≥20mm，连接气管直径≥12mm |
| 环境 | |
| 温度/湿度 | 0-35℃，40%-60% |
| 洁净度 | 符合十万级洁净区规范要求 |
| 噪音 | ≤60db |
| 设备结构 | |
| 整机重量 | 2000KG |
| 外形尺寸（mm） | 长×宽×高（3100mm×2600mm×2000mm） |
| 设备操作方位 | 面向主机触摸屏，自动化在左侧是左手机，反之为右手机。 |
| 花篮工位 | 俩轨单侧 |
| 花篮装卸方式 |
人工装卸：人工装卸时，手工直接将花篮放置于花篮工作台； 亦可对接AGV小车。 |
苏公网安备 32021402000985号