| 产品型号 | PEB-511LL |
| 产品名称 | |
| 生产工艺 | 板式PECVD工艺 |
| 设备功能 | 将没经过板式PECVD工艺处理的硅片自动化取出装入碳框载板，并将经过工艺处理后的碳框载板内的硅片自动化取出装篮。 |
| 适用硅片 | |
| 单晶/多晶 | 兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工装 | |
| 硅片花篮 |
片数=100、片距=4.76 使用江松花篮或客户自有花篮（客户提供图纸，实物需满足图纸公差要求） |
| 硅片载板 | 5×11石墨框（客户提供图纸，实物需满足图纸公差要求） |
| 设备运行能力 | |
| 实际运行产能（净产能） | ≥4000片/小时（5×11石墨框） |
| 正常运行时间（up time） | 98% |
| 平均故障时间（MTBF） | MTBF≥500小时 |
| 平均故障修复时间（MTTR） | MTTR≤1小时 |
| 碎片率 | ≤0.06%（不含本身隐裂，线痕等缺陷片）A片 |
| 动力要求 | |
| 电源 | AC 220V 单相50HZ |
| 功率 | 10KW |
| 压缩空气 | ≥0.6Mpa、主气路管道直径≥16mm(需提供两路进气) |
| 环境 | |
| 温度/湿度 | 0~35℃/40%~60% |
| 洁净度 | 符合十万级洁净区相关规范要求 |
| 噪音 | ≤60dB |
| 设备结构 | |
| 整机重量 | 4800kg |
| 外形尺寸（mm） | 6650×3600×2580（长×宽×高） |
| 设备操作方位 | 见方案图 |
| 硅片上料通道数量 | 通道数=2 |
| 硅片下料通道数量 | 通道数=2 |
| 硅片上料方式 | 花篮式上料（手动装卸、空花篮自动流转） |
| 硅片下料方式 | 花篮式下料（手动装卸、空花篮自动流转） |
| 载板物流方向 | 上层：进主工艺机、下层：出主工艺机 |
| 载板对接上层高 | 上层高=1080 |
| 载板对接下层高 | 下层高=450 |
苏公网安备 32021402000985号