| 产品型号 | PEGZ-2L2L-SA8 |
| 产品名称 | |
| 生产工艺 | 在线管式PECVD装卸片机一拖二 |
| 设备功能 | 将经过管式PECVD工艺处理后 的石墨舟内的硅片自动化取 出装篮，并将没经过工艺处 理的硅片自动化装入石墨舟。 |
| 适用硅片 | |
| 单晶/多晶 | 兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工装 | 花篮-石墨舟-舟托-主设备布局 |
| 硅片堆叠盒 | 花篮下料无堆叠盒，堆叠下料 时为江松自制堆叠盒 |
| 设备运行能力 | |
| 实际运行产能（净产能） | ≥7500片/小时(27片以上舟片的石墨舟，所有的产能都基于 主设备的产能，主设备的产能不 足则以主设备的产能为准） |
| 正常运行时间（up time） | 98% |
| 平均故障时间（MTBF） | MTBF≥300小时 |
| 平均故障修复时间（MTTR） | MTTR≤2小时 |
| 碎片率 | ≤0.08% （单晶A类片，不含主机碎片） |
| 动力要求 | |
| 电源 | 8KW 史陶比尔：380V三相五线制50HZ ABB：220V 50HZ |
| 压缩空气 | 压力：06Mpa 流量：500L/Min 接口:Ф16软管 |
| 环境 | |
| 温度/湿度 | 0~35°C 40%~60% |
| 洁净度 | 符合十万级洁净区相关规范要求 |
| 噪音 | ≤60db |
| 设备结构 | |
| 整机重量(单位：吨) | 6 |
| 外形尺寸（mm） | 长6300宽6000高2100（参考） |
| 设备操作方位 | 可左可右 |
| 硅片通道数量 | 4 |
| 硅片通道间距 | 上料间距322mm下料间322mm |
| 对接处花篮离地高 | 下层450mm上层1160mm |
苏公网安备 32021402000985号